特許

J-GLOBAL ID：200903010916350318

パターン検査装置、パターン検査方法、パターン検査用プログラムを記録した記録媒体、及びパターン検査用データを記録した記録媒体

発明者： 土屋 英雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019121
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】マクロには擬似欠陥の誤検出がなく、ミクロには欠陥検出精度が高いパターン検査装置を提供する。【解決手段】被測定試料1からの検出パターンデータS22を生成する観測データ生成部(6,4,2,5,7,14,21)と、この検出パターンデータS22を記憶する第1の記憶装置55と、検査基準となる参照データを生成する参照データ生成部13,19と、この参照データを記憶する第2の記憶装置56と、第1の記憶装置55の出力を受け、検出パターンデータS22中にコンタクトホール状パターンの有無を検出し、その光量や寸法を検定するコンタクトホール検査・調査手段16と、理想的な光量値や寸法値を保存する第3の記憶装置57と、第1および第2の記憶装置55,56の出力と、コンタクトホール検査・調査手段16の出力とを入力する比較回路11とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定試料のパターンに対応した検出パターンデータを生成する観測データ生成部と、前記検出パターンデータを記憶する第1の記憶装置と、検査基準となる参照データを生成する参照データ生成部と、前記参照データを記憶する第2の記憶装置と、前記第1の記憶装置の出力を受け、検出パターンデータ中にコンタクトホール状パターンの有無を検出し、その光量及び寸法の少なくとも一方を検定するコンタクトホール検査・調査手段と、理想的な光量値及び寸法値の少なくとも一方を保存する第3の記憶装置と、前記第1および第2の記憶装置の出力と、前記コンタクトホール検査・調査手段の出力とを入力する比較回路とを備えるパターン検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01N 21/88 E ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/30 502 V

Fターム (20件)：

2G051AA56 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  2G051ED23 ,  2G051FA10 ,  2H095BD04 ,  2H095BD26 ,  2H095BD27