特許
J-GLOBAL ID：200903010920308628
多層膜の成膜装置並びに光学特性の測定方法及び成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175423
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034247
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 極めて目標に近い高精度な多層膜を実現する。【構成】 成膜室1の内部に設けられ、多層膜が形成される基板8と、多層膜の各層の光学的膜厚を制御する光学的膜厚モニタ基板10と、光学的膜厚モニタ基板10を各層ごとに交換するモニタ交換機構16と、光学的膜厚モニタ基板10の下側部分に配置され、多層膜の分光特性を観察する多層膜モニタ基板17と、光学的膜厚モニタ基板10及び多層膜モニタ基板17上に光を照射する光源11と、光源11から出射した光を整形する光学レンズと、前記光を成膜室1の内外に入出射させる光学窓21と、光学的膜厚モニタ基板10からの反射光量を検出する検出器14と、多層膜モニタ基板17からの反射光の分光特性を測定する分光特性評価装置20とにより構成し、多層膜モニタ基板17を、設置された状態から10分以上傾かないように保持治具に固定する。
請求項（抜粋）：
真空状態に保持された成膜室と、前記成膜室の内部に設けられ、多層膜が形成される基板と、多層膜の各層の光学的膜厚を制御する光学的膜厚モニタ基板と、前記光学的膜厚モニタ基板を各層ごとに交換するモニタ交換機構と、多層膜の分光特性を観察する多層膜モニタ基板と、前記光学的膜厚モニタ基板及び多層膜モニタ基板上に光を照射する光源と、前記光源から出射した光を整形する光学レンズと、前記光を成膜室内外に入出射させる光学窓と、前記光学的膜厚モニタ基板上に成膜された薄膜からの反射光量もしくは透過光量を測定し、各層の薄膜の光学的膜厚を制御する制御手段と、前記多層膜モニタ基板上に成膜された多層膜からの反射光もしくは透過光の分光特性を測定する測定手段と、前記測定手段によって得られた結果を処理し、各層の膜厚、光学的膜厚を制御する膜厚制御手段にフィードバックする機能とを少なくとも備えてなる多層膜の成膜装置であって、前記多層膜モニタ基板を、設置された状態から10分以上傾かないように保持治具に固定したことを特徴とする多層膜の成膜装置。
引用特許：
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