特許

J-GLOBAL ID：200903010922208809

高感度圧力センサ

発明者： 村山 勇樹
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-099468
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278217
出願日： 1995年04月03日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 気体の圧力変化を高感度に検出する圧力センサを提供する。【構成】 気体の圧力変化を熱により検知するために、焦電素子を圧力センサの気体流入用開口部に設置すると共に該開口部に熱源を設置する。

請求項（抜粋）：

上面に開口部を有する容器と、該容器の開口部の外側近傍に配置された熱源と、該容器内の開口部直下に配置された焦電素子と、該焦電素子から電荷を取り出す電極と、取り出した電荷を電気的信号として処理する信号処理部とからなり、該容器上面の開口部外側の圧力が高くなると該熱源によって暖められた気体が該容器内に侵入して該焦電素子を反応させ、一定の電気的信号を出力するようにした高感度圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 11/00 ,  G01J 5/02 ,  G01L 7/00

FI (3件)：

G01L 11/00 Z ,  G01J 5/02 A ,  G01L 7/00 K