特許
J-GLOBAL ID：200903010923473867
電界効果型トランジスタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084955
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 ゲート長が短く抵抗の小さい、かつ倒れにくいT型ゲート電極を有する電界効果型トランジスタを得る。【構成】 隣接するゲート電極20間に導電体または絶縁体からなるエアーブリッジ1を設けてゲート電極20を補強する。【効果】 T型ゲートを補強したことにより、ゲート倒れなどの不良品発生率が減少し、歩留まりが向上する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された断面T字型のゲート電極と、該ゲート電極両側の上記基板表面に配置されたソース・ドレイン電極とを備えた電界効果トランジスタにおいて、上記ゲート電極上部と上記ソース・ドレイン電極の間を絶縁体からなる架橋部材で結合したことを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (3件)：
H01L 21/338
, H01L 29/812
, H01L 29/44
