特許
J-GLOBAL ID：200903010925154068
蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-039815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-234335
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 有機被膜の原料材料を用い、被コーティング物の表面に真空中で蒸着膜を形成する装置であって、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少なくできる蒸着装置を提供する。【解決手段】 有機被膜の原料材料11を収容し、一方に開口部を有する蒸発管4と、この蒸発管4を加温するヒータ6と、蒸着槽を備える装置であって、上記蒸発管4の管壁3がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されている、または、蒸発管4の管壁3が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にステンレスより熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形成している。
請求項（抜粋）：
有機被膜の原料材料を収容し、一方に開口部を有する蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータと、収納した被コーティング物に、真空中で加熱蒸発させた上記原料物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽とを備える蒸着装置において、上記蒸発管の管壁がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されていることを特徴とする蒸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 T
, C23C 14/12
4K029AA22
, 4K029BA62
, 4K029CA11
, 4K029CA17
, 4K029DA01
, 4K029DB06
, 4K029DB12
, 4K029DB13
, 4K029DB18
