特許
J-GLOBAL ID:200903010929682522

光学系支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-167466
公開番号(公開出願番号):特開平7-006388
出願日: 1993年06月14日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】 より高いダンピング性能を簡単に得ることができ、ダンピング係数の設定も自由にできる光学系支持装置を提供することを目的としている。【構成】 対物レンズ10を保持部材20で保持し、この保持部材20と固定部材40とを連結部材30で連結し、連結部材30と固定部材40との連結部に抵抗増加手段30dを備えた緩衝手段を設ける。
請求項(抜粋):
光学素子を保持する保持部材と、固定部材と、前記保持部材と前記固定部材とを連結する連結部材とからなり、前記連結部材と前記保持部材との連結部または前記連結部材と前記固定部材との連結部との少なくとも1箇所に緩衝手段を備えた光学系支持装置において、前記緩衝手段は前記連結部材の周囲に液状またはゲル状ダンピング材を充填してなり、かつ、前記連結部材には該ダンピング材中に位置する部分に抵抗増加手段が設けられていることを特徴とする光学系支持装置。

前のページに戻る