特許

J-GLOBAL ID：200903010940784728

圧電振動子及びその製造方法

発明者： 荒武 潔 ,  富山 光男
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023078
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223998
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 周波数調整用重りのレーザトリミング時に飛散する金属の再付着を防止した圧電振動子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電振動片11の一方面の先端部近傍に圧電振動片11の振動周波数を調整するための周波数調整用重り30を設け、少なくとも周波数調整重り30の表面に周波数調整用重り30の飛散を防止する飛散防止膜31を設けることにより、レーザトリミングによる周波数調整時に、圧電振動片の表面への金属の付着を防止する。

請求項（抜粋）：

一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、前記圧電振動片の一方面には、その先端部近傍に前記圧電振動片の振動周波数を調整するための周波数調整用重りを有し、少なくとも前記周波数調整重りの表面に前記周波数調整用重りの飛散を防止する飛散防止膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (5件)：

H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02

FI (5件)：

H03H 9/19 C ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/02 M ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (17件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF01 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG17 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108HH06 ,  5J108KK02 ,  5J108KK06 ,  5J108NB05