特許

J-GLOBAL ID：200903010944754777

固体撮像装置

発明者： 鈴木 清市
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253932
公開番号（公開出願番号）：特開平5-095097
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】オンチップ方式のカラーフィルターを有する固体撮像装置に関し、ボンディングパッドを広げずにボンディングワイヤーとカラーフィルターとの接触を回避することを目的とする。【構成】固体撮像素子が形成された基板1の上に設けられたボンディングパッド4と、前記固体撮像素子と前記ボンディングパッド4を覆う絶縁膜5と、前記ボンディングパッド4の上の前記絶縁膜5に形成された第一の開口部7と、前記絶縁膜5の上に形成されたカラーフィルター8と、前記第一の開口部7及びその周辺の領域にある前記カラーフィルター8の層間膜9,10、保護膜11に形成された第二の開口部12とを含み構成する。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子が形成された基板(1)の上に設けられたボンディングパッド(4)と、前記固体撮像素子と前記ボンディングパッド(4)を覆う絶縁膜(5)と、前記ボンディングパッド(4)の上の前記絶縁膜(5)に形成された第一の開口部(7)と、前記絶縁膜(5)の上に形成されたカラーフィルター(8)と、前記第一の開口部(7)及びその周辺の領域にある前記カラーフィルター(8)の層間膜(9,10)、保護膜(11)に形成された第二の開口部(12)とを有することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 21/60 301