特許
J-GLOBAL ID:200903010952866401
エイリアシングを利用した投影格子の位相解析方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
杉村 興作
, 藤谷 史朗
, 来間 清志
, 藤原 英治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-200631
公開番号(公開出願番号):特開2006-322949
出願日: 2006年07月24日
公開日(公表日): 2006年11月30日
要約:
【課題】少ないサンプリング数で干渉縞又は投影格子の位相を解析することができる位相解析方法を提供する。【解決手段】fとfsamを自然数とし、fsam<2Nとして、投影格子の位相を2πf変化させる間にfsam回撮影して得た画像から前記投影格子の位相を解析する投影格子の位相解析方法であって、kを任意の自然数として、f’=f±kfsamによって与えられるエイリアシングによって生じる周波数をフーリエ変換して得て、その周波数成分の複素数の偏角として前記投影格子の位相を得る。【選択図】図2
請求項(抜粋):
fとfsamを自然数とし、fsam<2fとして、投影格子の位相を2πf変化させる間にfsam回撮影して得た画像から前記投影格子の位相を解析する投影格子位相解析方法であって、kを任意の自然数として、
IPC (2件):
FI (2件):
G01B11/25 H
, G01B11/16 H
Fターム (13件):
2F065AA53
, 2F065AA65
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF06
, 2F065FF07
, 2F065FF09
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065LL42
, 2F065QQ16
, 2F065QQ25
, 2F065QQ44
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