照明光学装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038799
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249561
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】照明効率が高く、かつ短波長であっても十分な光量でケーラー照明が実現できる照明光学装置の提供。【構成】光源手段と集光光学系とを有する照明光学装置において、前記光源手段は光源部1と単数或いは複数個の反射型のオプティカルインテグレータ2aとを有し、前記集光光学系は凹面反射鏡3を有する。該凹面反射鏡3は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック面形状の回転体の1部で構成されるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

所定の大きさの光源またはその像を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とを有する照明光学装置において、前記光源手段は、平行光束を供給する光源部と、該光源部からの平行光束によって複数の光源像を形成する反射型のオプティカルインテグレータとを有し、前記集光光学系は、前記光源または前記光源像からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する凹面反射鏡を有し、該凹面反射鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転面の一部より構成されることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 17/00 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 517 , H01L 21/30 527

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