ビーム源

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200989
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028244
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】効率よく、指向性が高く、比較的大口径で且つ高密度のエネルギービームを発生することができるビーム源を提供する。【解決手段】放電管11内にガスを導入するガス導入ポート12と、該ガス導入ポートの下流側の放電管内に配置された3枚の電極を備え、上流側の電極はガスを流通させる多数の開口を有した電極23であり、中間の電極はメッシュ状の電極24であり、下流側の電極は多数のビーム放出孔を有したビーム放出電極14であり、上流側の2枚の電極間の放電管の外部には、放電管内に導入されたガスをプラズマ化する手段20を備え、下流側の2枚の電極は平行平板状に配置されており、該電極間にビームを加速して下流側のビーム放出電極から放出するための電圧印加手段28を備えた。

請求項（抜粋）：

放電管内にガスを導入するガス導入ポートと、該ガス導入ポートの下流側の前記放電管内に配置された3枚の電極を備え、上流側の電極は前記ガスを流通させる多数の開口を有した電極であり、中間の電極はメッシュ状の電極であり、下流側の電極は多数のビーム放出孔を有したビーム放出電極であり、前記上流側の2枚の電極間の前記放電管の外部には、前記放電管内に導入されたガスをプラズマ化する手段を備え、前記下流側の2枚の電極は平行平板状に配置されており、該電極間にビームを加速して前記下流側のビーム放出電極から放出するための電圧印加手段を備えたことを特徴とするビーム源。

IPC (3件)：

H01J 27/16 , G21G 4/02 , H01J 37/08

FI (3件)：

H01J 27/16 , G21G 4/02 , H01J 37/08

Fターム (6件)：

5C030DD01 , 5C030DE04 , 5C030DE09 , 5C030DG01 , 5C030DG06 , 5C030DG07

引用特許：

審査官引用 (1件)

高速原子線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-054057 出願人：株式会社荏原製作所

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