特許
J-GLOBAL ID：200903010964858765
半田ボールのボンディング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099636
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307344
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 半田ボールを吸着ヘッドに真空吸着して基板やチップにボンディングし、バンプを形成する半田ボールのボンディング装置において、半田ボールに適正量のフラックスを付着させ、また支障なく連続運転することができる半田ボールのボンディング装置を提供することを目的とする。【構成】 容器11に貯溜された半田ボール1を吸着ヘッド3が真空吸着し、基板へ向かって移動する。その途中で、吸着ヘッド3に昇降動作を行わせて半田ボール1を貯溜部の本体72に貯溜されたフラックスに浸漬し、半田ボール1に適正量のフラックスを付着させた後、吸着ヘッド3は基板の上方へ移動し、半田ボール1を基板にボンディングする。吸着ヘッド3から貯溜部に落下した半田ボール1aは、スキージ75で落下穴に落し込む。
請求項（抜粋）：
半田ボールの貯溜部と、ワークの位置決め部と、前記貯溜部に貯溜された半田ボールを下面に真空吸着し、前記位置決め部に位置決めされたワークにボンディングする吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを前記貯溜部と前記位置決め部の間を往復移動させる往復移動手段と、この吸着ヘッドに昇降動作を行わせる昇降手段と、この往復移動路の途中に設けられたフラックスの貯溜部とを備え、前記貯溜部が、底面に落下穴が形成され、かつフラックスが貯溜される本体と、この底面上を往復動作してこの底面上に残存する半田ボールを前記落下穴に落下させるスキージと、このスキージを往復動作させる駆動手段とから成ることを特徴とする半田ボールのボンディング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
