特許
J-GLOBAL ID：200903010973874617
超純水の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-079273
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 負荷に応じた運転条件での装置運転が可能で、装置による汚染を低減でき、かつポリッシャの長寿命化が可能な超純水の製造装置を提供すること。【構成】 ユースポイント7からのリターン水を超純水槽1に戻して、循環運転を行う超純水の製造装置において、リターン水配管をコントロール弁8を介して超純水槽戻し水管16とポリッシャバイパス配管17とに分岐させ、リターン水量とリターン水の比抵抗の入力信号に基づいて上記コントロール弁8の開度を制御するコントローラ11を設けたことを特徴とする超純水の製造装置である。
請求項（抜粋）：
ユースポイントからのリターン水を超純水槽に戻して、循環運転を行う超純水の製造装置において、リターン水配管をコントロール弁を介して超純水槽戻し水管とポリッシャバイパス配管とに分岐させ、リターン水量とリターン水の比抵抗の入力信号に基づいて上記コントロール弁の開度を制御するコントローラを設けたことを特徴とする超純水の製造装置。
IPC (4件)：
C02F 1/44
, C02F 1/00
, C02F 1/42
, H01L 21/304 341
