フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-181496
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370013
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】【課題】半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるSF6等のフッ化硫黄を、短時間で分解処理剤が失活することなく、また硫黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、1000°C以下の比較的低い温度で99.9%以上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供する。【解決手段】酸化アルミニウムと、アルカリ土類金属の酸化物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物を、有効成分として含む分解処理剤とする。また、加熱下で、酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する。あるいは、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフッ化硫黄を分解する。

請求項（抜粋）：

酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含むことを特徴とするフッ化硫黄の分解処理剤。

IPC (10件)：

B01D 53/68 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/86 , B01J 21/10 , B01J 23/02 , B01J 27/232 , B01J 35/10 301 , B01J 37/00 , B01J 37/04 101 , C01B 17/45

FI (10件)：

B01J 21/10 A , B01J 23/02 A , B01J 27/232 A , B01J 35/10 301 F , B01J 37/00 B , B01J 37/04 101 , C01B 17/45 G , B01D 53/34 134 C , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/36 D

Fターム (61件)：

4D002AA22 , 4D002AA23 , 4D002AC10 , 4D002BA03 , 4D002CA07 , 4D002CA08 , 4D002CA09 , 4D002DA04 , 4D002DA05 , 4D002DA06 , 4D002DA08 , 4D002DA11 , 4D002DA12 , 4D002DA16 , 4D002DA19 , 4D002DA35 , 4D002DA70 , 4D002GA01 , 4D002GB03 , 4D002GB12 , 4D048AA11 , 4D048AB03 , 4D048AC06 , 4D048AC10 , 4D048BA03X , 4D048BA15X , 4D048BA41X , 4D048BA45X , 4D048BB01 , 4D048BB17 , 4D048DA03 , 4D048DA06 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BA01A , 4G069BA01B , 4G069BB04A , 4G069BB04B , 4G069BB16A , 4G069BB16B , 4G069BC08A , 4G069BC09B , 4G069BC10B , 4G069BC11A , 4G069BC12B , 4G069BC13A , 4G069CA02 , 4G069CA10 , 4G069CA19 , 4G069DA06 , 4G069EA02X , 4G069EA02Y , 4G069EC14X , 4G069EC14Y , 4G069EC15X , 4G069EC15Y , 4G069FA01 , 4G069FB07 , 4G069FB61 , 4G069FB64 , 4G069FC08

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