特許

J-GLOBAL ID：200903010974497027

光学性能評価測定装置

発明者： 保坂 光太郎 ,  飯野 正行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169645
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005074
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 測定光学系のMTF等の光学性能を高精度に求めることができる光学性能評価測定装置を得ること。【構成】 投影手段に設けたテストパターンを測定光学系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテストパターン像を利用して演算手段により該測定光学系の光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する照明系を有していること。

請求項（抜粋）：

投影手段に設けたテストパターンを測定光学系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテストパターン像を利用して、演算手段により該測定光学系の光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する照明系を有していることを特徴とする光学性能評価測定装置。