特許
J-GLOBAL ID：200903010974911044
2波長反射防止膜
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034772
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244203
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 膜吸収を低くし、レーザ耐久性を高くし、且つ、248 nm近辺における反射防止帯域を広くする。【構成】 第1波長λ1 =248.4nm 近辺と第1波長より長波長側の第2波長λ2近辺に反射率の極小を持つ2波長反射防止膜において、反射防止膜を高屈折率層3と低屈折率層2との交互n層膜で構成し、かつ高屈折率層3及び低屈折率層2として無機フッ化物を使用する。
請求項（抜粋）：
第1波長λ1 =248.4nm 近辺と第1波長より長波長側の第2波長λ2 近辺に反射率の極小を持つ2波長反射防止膜において、反射防止膜を高屈折率層と低屈折率層との交互n層膜(nは自然数)で構成し、かつ前記高屈折率層及び低屈折率層として無機フッ化物を使用したことを特徴とする反射防止膜。
IPC (2件)：
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