特許
J-GLOBAL ID:200903010977297045
X線検査装置及びX線検査方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢作 和行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-349606
公開番号(公開出願番号):特開2006-276001
出願日: 2005年12月02日
公開日(公表日): 2006年10月12日
要約:
【課題】半田接続部の不良を確実に検査できるX線検査装置及びX線検査方法を提供すること。【解決手段】プリント基板10はプリント基板側半田4b、プリント基板側ランド6、基材5、プリント基板側レジスト7などを備え、プリント基板側ランド6に対して間隔を隔ててプリント基板側レジスト7が設けられる構造である。また、回路素子20は、インターポーザ1のプリント基板側半田4bに対応する位置に形成される回路素子側ランド2、その回路素子側ランド2上に形成される回路素子側半田4a(半田ボール)などを備える。そして、この回路素子20をプリント基板10に実装した状態において、透過型の3次元X線検査装置を用いてプリント基板側ランド6及びプリント基板側ランド6の周辺の水平断層画像を作成して半田接続部の検査を行う。【選択図】図4
請求項(抜粋):
複数の半田ボールを備えた回路素子とレジストと離間して設けられるランドを備えたプリント基板との半田接続部の接続状態を検査するX線検査装置であって、
前記X線検査装置は、
前記回路素子が前記プリント基板に実装された状態において前記半田接続部にX線を照射するX線照射手段と、
前記半田接続部を透過したX線を検出して検出信号を出力するX線検出手段と、
前記検出信号に基づいて前記ランドの側面に半田が存在するか否かを示す水平断層画像を作成して出力する画像作成手段と、
を備えることを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (19件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001GA13
, 2G001HA13
, 2G001HA14
, 2G001JA01
, 2G001JA02
, 2G001JA06
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001SA02
引用特許:
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (18件)
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引用文献:
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