特許
J-GLOBAL ID:200903010985350656
電界センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
後藤 洋介 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-098331
公開番号(公開出願番号):特開平7-306235
出願日: 1994年05月12日
公開日(公表日): 1995年11月21日
要約:
【要約】【目的】 感度を高めることができる電界センサを提供する。【構成】 電界受信用アンテナ1で受ける入力信号の電界強度に応じて透過する光の強度が変化するように構成された電界センサヘッド3を有する。電界センサヘッド3は、入射光導波路9と、電界の強度に応じて屈折率が変化する2つの位相シフト光導波路10と、出射光導波路11と、2つの位相シフト光導波路10のうち少なくとも一方の近傍に形成された変調電極12とからなる。変調電極12と電界受信用アンテナ1との間に接続された共振用回路2を有し、変調電極12の膜厚は1μm以上とする。変調電極12は、光進行方向において分割され、かつ、容量結合されている複数の分割電極から構成する。電界受信用アンテナは、低放射抵抗アンテナで構成する。
請求項(抜粋):
電界受信用アンテナと、この電界受信用アンテナで受ける入力信号の電界強度に応じて透過する光の強度が変化するように構成された電界センサヘッドと、この電界センサヘッドに接続された入射光ファイバおよび出射光ファイバと、前記入射光ファイバの一端に接続されこの入射光ファイバに光を放射する光源と、前記電界センサヘッドからの透過光を前記出射光ファイバを介して受けて前記透過光を検出する光検出器とを具備し、前記電界センサヘッドは、基板と、前記入射光ファイバに接続されるように前記基板に形成された入射光導波路と、前記入射光導波路より分岐するように前記基板に形成され電界の強度に応じて屈折率が変化する2つの位相シフト光導波路と、前記出射光ファイバに接続され前記2つの位相シフト光導波路が合流するように前記基板に形成された出射光導波路と、前記2つの位相シフト光導波路のうち少なくとも一方の近傍に形成された変調電極とからなる電界センサにおいて、前記変調電極と前記電界受信用アンテナとの間に接続された共振用回路を有し、前記変調電極の膜厚は1μm以上とすることを特徴とする電界センサ。
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