特許

J-GLOBAL ID：200903010987268299

ウエハキャリア装置及びウエハの研磨方法

発明者： マイケル・ジー・モンロー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016855
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230228
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 より均一に研磨されたウエハを製作するための方法及び装置を提供する。【解決手段】(a) 構造的に力の分布を提供する支持部材(22,32)と、(b) 前記支持部材に結合されるキャリアプレート(40)と、(c) 前記キャリアプレートに近接させてウエハ(5)を取付けるためのウエハ取付機構(34)と、(d) 前記ウエハ取付機構により取付けられたウエハ(5)の温度を調節する温度調節機構(42,43,46及び47)(37,38,45及び60)と、をそれぞれ具備する。

請求項（抜粋）：

(a) 構造的に力の分布を提供する支持部材と、(b) 前記支持部材に結合されるキャリアプレートと、(c) 前記キャリアプレートに近接させてウエハを取付けるためのウエハ取付機構と、(d) 前記ウエハ取付機構により取付けられたウエハの温度を調節する温度調節機構と、をそれぞれ具備することを特徴とするウエハキャリア装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04

FI (5件)：

H01L 21/304 622 R ,  H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/304 622 G ,  B24B 37/00 J ,  B24B 37/04 E