特許

J-GLOBAL ID：200903010993158217

走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡

発明者： 三島 周三 ,  戸田 明敏 ,  森田 清三 ,  菅原 康弘
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308207
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159155
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】試料表面のより正確な像を得られる走査型プローブ顕微測定法を提供する。【構成】カンチレバーの変位検出系は、光てこ式変位センサーと光干渉式変位センサーを組み合わせて構成されている。光てこ式変位センサーの検出光110は、カンチレバー102の自由端の背面(探針104を設けた面の反対側の面)に斜めに入射し、そこで反射され四分割フォトダイオードに入射する。四分割フォトダイオードの出力に基づいて、力Fx による変位と力Fy +Fz による変位が得られる。光干渉式変位センサーの検出光は光ファイバー106からカンチレバー102の自由端の背面に照射され、その反射光により生じる干渉に基づいて、力Fz による変位が得られる。(力Fy +Fz による変位)-(力Fz による変位)を求めることにより、力Fx 、力Fy 、力Fz による各変位が得られる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの自由端に設けられた探針を試料表面に近づけて支持し、探針を試料表面に沿って相対的に走査し、互いに独立な三方向の力によるカンチレバーの変位成分を検出し、この互いに独立な三方向の力によるカンチレバーの変位成分に基づいて試料表面に関する像を形成する走査型プローブ顕微測定法。