特許
J-GLOBAL ID:200903010994885341
固体撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
菅野 中
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-142013
公開番号(公開出願番号):特開平9-326481
出願日: 1996年06月04日
公開日(公表日): 1997年12月16日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 全画素同時読み出し動作の可能な撮像装置のうち、テレビ方式及び電子スチルカメラにも対応できる撮像装置を製造するコストを低く抑える。【解決手段】 8相駆動全画素同時読み出し撮像装置では、垂直駆動パルスφV1AとφV1B,φV2AとφV2B,φV4AとφV4Bは、それぞれ互いに隣合うバスライン11に印加する。またトランスファーゲートパルスの重畳されるφV3AとφV3Bのバスライン11の隣、もしくはそれらの間に少なくとも1本のバスラインを形成するための空き領域を設ける。さらにトランスファーゲートパルスの重畳されるφV3AとφV3Bに対応する垂直転送電極8の引き出し部10のうち、少なくとも1箇所以上は、コンタクト12により接続されたバスライン11より撮像部1から離れたバスラインとコンタクトにより接続可能な領域まで延長している。
請求項(抜粋):
光電変換素子群と、トランスファーゲート部と、垂直CCDと、水平CCDと、電荷検出部とを有する固体撮像装置であって、光電変換素子群は、半導体基板の一主面上に2次元マトリックス状に配列されたものであり、トランスファーゲート部は、前記光電変換素子群に隣接し、該光電変換素子群に蓄積した信号電荷を読み出すものであり、垂直CCDは、前記トランスファーゲート部に隣接し、各列の光電変換素子から読み出された信号電荷を水平CCDまで転送するものであり、水平CCDは、前記垂直CCDから転送された信号電荷を水平方向に転送するものであり、電荷検出部は、前記水平CCDを転送された信号電荷を検出し出力するものであり、前記光電変換素子と前記トランスファーゲート部と前記垂直CCDとを含む画素が複数配置された撮像部の外部の領域において、前記垂直CCDの構成要素である周期的に形成された垂直転送電極は、該垂直転送電極とは異なる工程で形成された、該垂直転送電極に駆動パルスを供給するための複数の配線と交差するよう延びており、前記垂直転送電極の1周期のうち少なくとも1つの垂直転送電極は、該垂直転送電極とコンタクトを介して接続された任意の前記配線よりも撮像部から離れて位置する任意の前記配線と交差する位置まで延長されたものであることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
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