特許
J-GLOBAL ID：200903010994966180
ワークの光学的検査装置
出願人/特許権者：
旭コーデン株式会社
旭コーデン株式会社 について
代理人 (1件)： 松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166811
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334471
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 ワーク表面に形成された微細な傷、或は歪み等を、光学的検出手段により高感度でしかも高精度に検出する。【構成】 検査光学先端部11にアレイ状に配設した複数のファイバ束12の各ファイバ束12には、1本の投光ファイバ13と、この投光ファイバ13に近接する2本の受光ファイバ14a,14bとが結束されている。各ファイバ束12の投光ファイバ13から出射された検査光は、検査光学先端部11に対して相対移動する平板状ワークWの表面に照射される。そして、この平板状ワークWの表面から反射された反射光が2つの受光ファイバ14a,14bにそれぞれ入光されると、この各受光ファイバ14a,14bから演算装置の検査演算部に設けたフォトダイオードに出射されて反射光量が電圧変換される。そして、この両フォトセンサの出力電圧に基づいて、上記平板状ワークWの表面に形成された傷の有無、或は歪み等を検査する。
請求項（抜粋）：
ワーク表面に検査光学先端部を相対移動可能に対設し、この検査光学先端部に、光源からの検査光を上記ワーク表面に出射する1本の投光ファイバと、上記検査光の上記ワーク表面からの反射光を入光する複数の受光ファイバとを結束して成るファイバ束の先端部を少なくとも1本配設し、又上記ファイバ束に設けた複数の受光ファイバを2つの受光ファイバ群に区分し、この各受光ファイバ群の出射端にフォトセンサを各々配設し、一方のフォトセンサは、検査演算部に直接接続し、他方のフォトセンサは、反転回路を経て前記検査演算部に接続し、前記検査演算部は、前記一方のフォトセンサからの出力電圧と前記反転回路を経た他方のフォトセンサからの出力電圧との差と、予め設定したスレッショルドレベルとを比較して、上記ワーク表面の傷等の有無を検出するものであることを特徴とするワークの光学的検査装置。
引用特許：
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