特許

J-GLOBAL ID：200903011001607313

感光性透明導電膜形成用塗布液、パターン化された透明導電膜および該透明導電膜の製造方法

発明者： 石川 真章 ,  吉川 逸治
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 内田 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326107
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143526
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 感光性透明導電膜形成用塗布液であって、安価で安定性に優れ、かつ非常に簡易な工程で、透明性、導電性および機械的強度に優れた膜を形成することができる塗布液を提供する。【解決手段】 紫外線硬化型または紫外線崩壊型の感光性樹脂と溶剤とを含有する感光性透明導電膜形成用塗布液において、透明導電膜形成材料として、インジウム(In)と錫(Sn)を含む化合物と有機酸から生成したヒドロキシ化合物に有機配位子が配位したキレート錯体を含有せしめる。この塗布液を基板上に塗布・乾燥し、乾燥膜上にフォトマスクを設置し、紫外線を照射して露光した後、アルカリ水溶液にて現像して、500°C以上で焼成することによって、パターン化された透明導電膜が作成される。

請求項（抜粋）：

インジウム(In)と錫(Sn)を含む化合物と有機酸から生成したヒドロキシ化合物に有機配位子が配位したキレート錯体と、紫外線硬化型または紫外線崩壊型の感光性樹脂と、溶剤とを少なくとも含有することを特徴とする感光性透明導電膜形成用塗布液。

IPC (3件)：

H01B 1/20 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14

FI (3件)：

H01B 1/20 A ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A

Fターム (20件)：

2H092HA04 ,  2H092KB15 ,  2H092MA10 ,  2H092MA12 ,  2H092MA16 ,  2H092MA22 ,  2H092NA15 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA07 ,  5G301DA22 ,  5G301DA42 ,  5G301DD02 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G307FC03 ,  5G307FC04