特許
J-GLOBAL ID：200903011009056162
レ-ザ加工装置及びレ-ザ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥田 弘之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-376713
公開番号（公開出願番号）：特開平11-267868
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 フィルムシート上に形成された導体に位置ズレが存在しても、レーザ照射位置を自動的に補正できるレーザ加工装置の実現。【解決手段】 レーザ発振器12と、加工レンズ24と、リングライト32と、CCDカメラ34と、ビームコンバイナ22と、記憶手段及び制御手段として機能するパソコン81と、XYテーブル36を備え、加工対象物30表面で反射されたリングライト32の光は、加工レンズ24を通過し、ビームコンバイナの第2面22bで反射されてCCDカメラ34に入射する。CCDカメラ34からの画像データは、制御ボード82を介してパソコンに入力され、加工目標であるランドの実際の位置座標と予め記憶装置内に記憶されたランドの位置データとが比較され、両者にズレが生じている場合にズレ補正信号が出力される。この補正信号に応じてXYテーブル36は必要方向に必要量移動し、ズレを解消する。
請求項（抜粋）：
フィルムシートの表面に複数の導体を形成してなる加工対象物に、レーザビームを照射して少なくとも上記導体のランドに対する穴開け加工を順次実行するレーザ加工装置であって、レーザ発振器と、該レーザ発振器から出力されたレーザビームの光路中に、上記ランドに対応したマスク部材を介装させることにより、上記レーザビームを当該ランドに対応したレーザビームに絞るマスク手段と、上記マスク部材を通過してきたレーザビームを加工対象物の表面に結像させて、上記ランドに対する穴開け加工を実現する加工レンズと、該加工レンズの近傍に配置され、上記加工対象物表面を照らす照明手段と、イメージセンサと、上記加工レンズの前段に設けられ、上記マスク部材を通過してきたレーザビームを透過させて上記加工レンズへ導入すると共に、上記加工対象物表面で反射され上記加工レンズを通過してきた上記照明手段の光を反射させて上記イメージセンサへ導入するビームコンバイナと、上記導体のランドに関するデータを記憶しておく記憶手段と、一定周期毎に、上記イメージセンサが捉えた上記加工対象物表面の画像データに画像処理を施して、上記ランドが実際に置かれている位置座標を算出すると共に、該算出結果と上記記憶手段内に記憶されたランドの位置データとを比較し、両者間にズレが生じていると判断した場合にズレ補正信号を出力する制御手段と、上記加工対象物が配置される加工台を備え、上記制御手段から出力された上記ズレ補正信号に基づき、上記加工台を移動させて上記ズレを解消する位置補正を行うXYテーブルと、を少なくとも備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (6件)：
B23K 26/00 330
, B23K 26/00
, B23K 26/02
, B23K 26/06
, B23K 26/10
, H05K 3/00
B23K 26/00 330
, B23K 26/00 H
, B23K 26/00 M
, B23K 26/00 P
, B23K 26/02 A
, B23K 26/06 J
, B23K 26/06 C
, B23K 26/10
, H05K 3/00 N
