特許

J-GLOBAL ID：200903011016741164

研磨装置の加工ヘッド

発明者： 齊 藤 日出夫 ,  伊 藤 史 隆
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290570
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128656
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 摺動部分の影響を最小限に抑え、円滑な傾動動作により研磨面への追従性を高めた研磨装置の加工ヘッドを提供する。【解決手段】 研磨装置の主軸に連結される支持プレート11と、被加工物2を装着面に着脱可能に保持する保持手段を有する保持プレート12とを、少なくとも主軸回転の円周方向に対して剛性が大きく、前記定盤の研磨面に垂直な方向に弾性変形する弾性連結部材13により同心的にかつ平行に連結する。

請求項（抜粋）：

加工ヘッドに保持した被加工物を回転させながら定盤上の研磨布に押し付け、被加工物の表面を平面研磨する研磨装置の加工ヘッドにおいて、研磨装置の主軸に連結される支持プレートと、被加工物を装着面に着脱可能に保持する保持手段を有する保持プレートと、前記支持プレートと保持プレートとを同心的にかつ平行に連結し、少なくとも主軸回転の円周方向に対して剛性が大きく、前記定盤の研磨面に垂直な方向に弾性変形する弾性連結部材とからなることを特徴とする研磨装置の加工ヘッド。