特許

J-GLOBAL ID：200903011019454107

検査装置

発明者： 赤岩 正康 ,  岡部 隆史 ,  杉本 辰男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248882
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090365
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】カメラ7で撮像した半導体素子の画像を、検査に先立ってCPU13で検査し、検査エリア、しきい値等のデータとして記憶装置26に格納し、検査時にこのデータを使用する。【効果】検査時に検査エリア、しきい値等のデータを求める過程が省略できるので、検査時間が短縮できる。

請求項（抜粋）：

被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られる撮像画像を記憶する画像メモリと、前記画像メモリに記憶した画像に対して演算処理を行なうCPUと、前記CPUが演算処理を行なって得た情報を記憶する記憶装置よりなる検査装置において、検査に先だって一個又は複数個の前記被検査対象物を使用して、前記被検査対象物の画像を前記撮像手段で撮像して前記画像メモリに記憶し、前記CPUで演算処理を行ない検査に必要な検査エリア、検査しきい値、検査特徴量をティーチングデータとして前記記憶装置に記憶し、検査時に前記ティーチングデータを使用して前記被検査対象物の検査を行なうことを特徴とする検査装置。

IPC (6件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 465