特許

J-GLOBAL ID：200903011022862836

液晶表示装置とその製造方法

発明者： 金子 寿輝 ,  小野 記久雄 ,  池田 一 ,  寺門 正倫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083689
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275663
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】信号配線や電極のパターニング工程を簡略化し、端子部での電蝕等を防止して信頼性を高めた液晶表示装置を提供する。【解決手段】基板1に電極および/または信号配線を形成する際に、基板1上に成膜したクロム等の金属膜2上にエッチングレートが大なるアモルファスの酸化導電膜3を積層し、一回のフォトリソグラフィ処理で一括してエッチング加工する。

請求項（抜粋）：

金属膜上にエッチングレートが大なるアモルファスの酸化導電膜を配した積層構造からなる電極および/または信号配線を具備することを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 331

FI (3件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 331

Fターム (24件)：

2H092JA26 ,  2H092JA38 ,  2H092JA40 ,  2H092JB05 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA18 ,  2H092NA27 ,  5C094AA12 ,  5C094AA32 ,  5C094AA37 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA10 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094GA10 ,  5C094GB10