特許

J-GLOBAL ID：200903011027258074

塗布装置

発明者： 畠山 智之 ,  渡辺 靖之
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308508
公開番号（公開出願番号）：特開平5-115825
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】[目的] 塗布面に凹凸のある塗布対象物に対しても、均一な膜厚で膜幅の広い塗布膜を形成する。[構成] 定量塗布ヘッド2の吐出口の両脇に、定量塗布ヘッド1の吐出口と塗布面との距離を一定に保定距離保持部材4を設ける。定量塗布ヘッド2は、定速で移動するテーブル3上で固定した塗布対象物1に向かって移動可能に直動部材5に取付ける。直動部材5は、スタンドで支持した回転部材取付板に取付けた回転部材6によって、X軸回りに回転自在な回転部材5に固定する。これにより、定距離保持部材4により塗布面の凹凸形状に対応して、定量塗布ヘッド2がZ軸方向に移動するとともにX軸回りに回転する。そして、定量塗布ヘッド2の吐出口と塗布位置との距離が一定に保たれる。

請求項（抜粋）：

塗布物を塗布対象物へ連続的に吐出する定量塗布ヘッドと、塗布物を塗布ヘッドに供給する塗布物定量供給装置と、塗布対象物を固定し定量塗布ヘッドに対して相対的に定速で移動する移動テーブルとからなる塗布装置において、上記定量塗布ヘッドに取付けた少なくとも2個以上の定距離保持部材と、定量塗布ヘッドを上記塗布対象物の塗布面に向かって移動可能に保持する直動部材と、直動部材を介して定量塗布ヘッドを回動自在に保持する回転部材とから構成したことを特徴とする塗布装置。