パッケージの封止方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-167284
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226492
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】パッケージの封止に際し、クリップや治具を用いることなく、作業性に優れ、簡便にパッケージングを行う。【構成】セラミックベース基板32をガラスの軟化点以上の温度に加熱しておき、その上に直接フリットガラス35付セラミックキャップ34を載せ、その時にフリットガラスの一部が溶融し、仮固定される。その後、炉に入れ、セラミックベース基板32とフリットガラス35付セラミックキャップ34を封止する。

請求項（抜粋）：

(a)セラミックベース基板及び又はフリットガラス付セラミック蓋を予めフリットガラスの軟化点以上に加熱しておき、(b)前記セラミックベース基板上に前記フリットガラス付セラミック蓋を載せて、仮固定を行い、(c)その状態で炉に入れ、完全にフリットガラスを溶融させ封止することを特徴とするパッケージの封止方法。

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