特許
J-GLOBAL ID:200903011031819978

共焦点顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-273558
公開番号(公開出願番号):特開平8-136810
出願日: 1994年11月08日
公開日(公表日): 1996年05月31日
要約:
【要約】【目的】 ボケた画像を重畳することなく焦点深度を従来よりも深くできる共焦点顕微鏡を提供する。【構成】 本発明の共焦点顕微鏡は、光源部100から出力された照射光を、光学系200を介して、受光位置に応じた試料との距離を設定して照射光を試料に向けて出力する共焦点用スキャナであって、照射光に対する位置は周期的に変化する共焦点用スキャナ300し、共焦点用スキャナ300からの出力光を光学系400を介して集光し、試料900上に微小スポットを形成する。そして、試料900上の微小スポットでの反射光および反応光は、光学系400、共焦点用スキャナ300、光学系200、および光学系500を順次介して形成された像を撮像装置600で撮像する。
請求項(抜粋):
試料を観測する共焦点顕微鏡であって、空間的に拡がった照射光を出力する光源部と、前記光源部から出力された照射光を入力し、コリメートして出力するとともに、照射光の出力側から入力した光の少なくとも一部を照射光の入力方向とは異なる方向に出力する第1の光学系と、前記第1の光学系から出力された照射光を受光し、受光した位置に応じた試料との距離を設定して照射光を試料に向けて出力する共焦点用スキャナであって、前記照射光に対する前記受光した位置は周期的に変化する共焦点用スキャナと、前記共焦点用スキャナから出力された照射光を測定対象である試料上に集光し微小スポットを形成する第2の光学系と、前記試料に照射光が照射された結果、前記試料から出力される、照射光の反射光および前記試料での反応に伴う反応光からなる発生光であって、前記第2の光学系、前記共焦点用スキャナ、および前記第1の光学系を順次介した発生光を入力し結像する第3の光学系と、を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。

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