特許
J-GLOBAL ID：200903011034633034
改良された環境型走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-505913
公開番号（公開出願番号）：特表平9-501010
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】慣用のSEMの解像度と同等の解像度を達成する環境型走査電子顕微鏡が開示される。バイアスを加えられたリング電極(28)が試料からの2次電子を検出するほか、後方散乱電子に由来する信号を低減し、かつ電子ビームによって発生させられる信号雑音を低減するために、バイアスを加えられた圧力制限開口電子検出器(50)も備えられる。光学窓装置が備えられ、使用者は従来の環境型SEM電子像(直径0.5mmが限界である)を約7〜10mmに至る視野を包含する標本の光学的可視光観察に容易に切り換えることができる。更に、この環境型SEMの構造は、慣用のSEMにおけるEDX検出器の取り出し角と同等なX線検出器(EDX検出器)(102)の取り出し角を実現する。
請求項（抜粋）：
環境型走査電子顕微鏡であって、 (a)試料に向けて電子ビームを発生し指向するための手段、 (b)試料の表面から出る2次電子信号を検出するための手段、および (c)後方散乱電子に由来する信号を低減するための手段および前記電子ビームによって発生させられた信号雑音を低減するための手段 を含んでなる環境型走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 Z
, H01J 37/244
