特許
J-GLOBAL ID：200903011034917555
精密角度位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154226
公開番号（公開出願番号）：特開平5-318252
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 各種の超精密加工機や測定機等に用いられる精密角度位置決め装置の角度分解能を、従来より格段に向上させる。【構成】 スライド部11、送りねじ係合部12、軸受部7などが全て静圧摺動部となっていて、送りねじ8の一端に駆動モータ10が連結されている直線送りユニット2の直線移動を、スチールベルト17により軸受部が全て静圧軸受14からなる回転テーブル3の回転角度に一定比率で変換していると共に、直線送りユニット2の移動量を検出しそれに対応する出力信号を発する高分解能の測長器4と、測長器4の出力信号により直線送りユニット2の駆動モータ10を制御する制御装置29を有している精密角度位置決め装置。
請求項（抜粋）：
スライド部、送りねじ係合部、軸受部など全ての摺動部が静圧摺動部からなり、かつ送りねじの一端に駆動モータが連結された直線送りユニットと、その側方に配設され軸受部が全て静圧軸受からなる回転テーブルとが、前記直線送りユニットの移動を一定比率で回転テーブルの回転に変換する連動部材によって連動するように構成されていると共に、前記直線送りユニットの移動量を検出しそれに対応する出力信号を発する高分解能の測長器と、測長器の出力信号により前記直線送りユニットの駆動モータを制御する制御装置を有していることを特徴とする精密角度位置決め装置。
IPC (2件)：
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