レーザ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲本義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-232674
公開番号（公開出願番号）：特開平10-076379
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】繰り返し周波数の高いレーザビームのエネルギを正確に測定する。【解決手段】図示せぬダイクロイックミラーを透過したレーザビームの一部を光量センサ42で受光し、電気信号に変換する。この電気信号を、増幅回路43で、被加工物に照射されるレーザビームによる電気信号と同じレベルになるように増幅し、ピークホールド回路44で1パルス毎のピーク値を検出してピーク値加算回路45に供給する。ピーク値加算回路45は、所定の数、例えば、数百のパルスのピーク値を累積的に加算し、加算結果を平均ピーク値演算回路46に供給する。平均ピーク値演算回路46は、加算結果より、1パルスの平均ピーク値を演算し、エネルギ算出回路47に出力する。エネルギ算出回路47は、平均ピーク値を用いて、所定の演算を行うことにより、レーザビームのエネルギを算出する。

請求項（抜粋）：

レーザビームを被加工物に照射し、加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームをパルス的に放出する放出手段と、前記放出手段から放出された前記レーザビームを前記被加工物に照射する照射手段と、パルス的に放出される前記レーザビームの光量のピーク値を検出する検出手段と、検出されたn個の前記ピーク値を累積的に加算する加算手段と、加算されたn個の前記ピーク値の平均値を用いて、前記被加工物に照射される前記レーザビームのエネルギを計測する計測手段とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/00 , G01J 1/42 , H01S 3/00

FI (4件)：

B23K 26/00 M , B23K 26/00 N , G01J 1/42 D , H01S 3/00 B

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