特許

J-GLOBAL ID：200903011037896800

微細機械加工されたセンサ用の強固接合部

発明者： ロモ,マーク ジー.
出願人/特許権者： ローズマウント インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 平木 道人 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-525159
公開番号（公開出願番号）：特表平9-511061
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】圧力のかかった流体を受け入れる微細機械加工された装置(32)は、少なくとも1つの接合部境界(35)に沿って互いに接合された複数の層(34,36)を有し、前記接合部境界は圧力のかかった液体に境する終端を有する。少なくとも1つの接合部境界(35)の近傍において、少なくとも1つの層(34,36)は、接合部終端の近くで応力の大きさを低減させるような形状を有する。好ましい実施例では、少なくとも1つの層(34)の幅が接合部境界(35)に向かって増大し、装置が破壊することなく作動できる圧力を増大させる。他の実施例では、接合部境界(35)に隣接する2つの層(34,36)の幅が、接合部境界(35)の近傍で、接合部境界(35)に向かって増大する。また、層(34,36)は、接合部境界(35)に垂直で、かつ空洞に境する接合部境界の端部を通過する基準線に対して、前記空洞が該基準線および少なくとも前記壁の1つの間にはみ出しているような壁の形状を有する。

請求項（抜粋）：

圧力のかかった流体の受け入れに適用するための、微細機械加工された装置であって、 第1の層と、 終端を有する接合部境界に沿って前記第1の層に接合された第2の層とを有し、 前記接合部境界の近傍において、前記第2の層が、前記終端に隣接する応力の大きさを低減させて、増大する流体圧力下で破壊を伴うことなく当該装置の作動を可能にする形状を有することを特徴とする装置。