特許
J-GLOBAL ID：200903011047444729
無人搬送システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013564
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267431
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】無人搬送システムにおいて、発生した空台車に搬送待ち製品を割り付ける際に、搬送量の変動に合わせたより効率的、よりフレキシブルな割り付けを行なう。【構成】各ステーションの搬送待ち製品数,搬送待ち先頭製品の待ち時間、空台車の各ステーションまでの距離、等に関する各種データを管理する機能を有しており、これら各種データをあらかじめ記憶させてある計算式にあてはめ搬送待ち製品の搬送優先順位を決定する。
請求項（抜粋）：
半導体装置を製造する際のウェーハを複数枚収納するウェーハキャリアを保管するためのウェーハキャリア保管箱を搬送する無人搬送システムにおいて、各ステーションの搬送待ち製品数、搬送待ち製品の製品毎の待ち時間、空台車と搬送待ち製品があるステーションまでの距離等、搬送優先順位を決定するための各データを採取・管理する機能と、前記各データを一定の計算式に当てはめ前記搬送待ち製品の搬送優先順位を算出する機能と、前記計算式又は計算式に用いられている係数を変更できる機能と、算出した搬送優先順位に従って搬送待ち製品を空台車に割り付ける機能を有する無人搬送システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G05D 1/02
, B61B 13/00
