特許
J-GLOBAL ID：200903011048294925
ウエハーの研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299190
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126615
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 定盤研磨面の傾斜に対して好適に追随することができると共に、ウエハーの表面全面に等圧の荷重を好適に負荷することのできる加重装置を具備するウエハーの研磨装置を提供する。【構成】 ウエハー1を保持する保持プレート10を定盤に押圧し、該定盤の研磨面にウエハー1を当接させ、ウエハー表面を鏡面研磨するウエハーの研磨装置において、下方に向けて開放する凹部26を有し、凹部26内に保持プレート10を、脱落しないように支持する支持部材24と、保持プレート10の水平方向の移動を微小範囲内で許容するリング状の弾性部材34と、保持プレート10を上下方向及び水平方向に微小範囲内で移動可能に吊持する板状の弾性部材38と、該板状の弾性部材38により画成された凹部26の密閉空間50と、該密閉空間50に所定圧力の流体を供給する流体の供給手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
下面にてウエハーを保持する保持プレートを、上面に研磨面を有する定盤に押圧することにより、該研磨面にウエハー表面を当接させ該ウエハー表面に所定の荷重を与えつつ、ウエハーと定盤とを相対的に運動させウエハー表面を鏡面研磨するウエハーの研磨装置において、下方に向けて開放する凹部を有し、該凹部内に前記保持プレートを、脱落しないように支持する支持部材と、保持プレートの外周面と前記凹部の内周面との間に配設され、該保持プレートの水平方向の移動を微小範囲内で許容するリング状の弾性部材と、前記凹部内面と保持プレートとの間に亘って固定され、前記保持プレートを上下方向及び水平方向に微小範囲内で移動可能に吊持する板状の弾性部材と、該板状の弾性部材により画成された前記凹部の密閉空間と、該密閉空間に所定圧力の流体を供給する流体の供給手段とを具備することを特徴とするウエハーの研磨装置。
引用特許：
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