特許
J-GLOBAL ID：200903011052901208
共振型スキヤナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045603
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は共振型スキャナに関し、簡単な構造でスキャナミラーの振幅を高安定に保てる共振型スキャナの提供を目的とする。【構成】 アクチュエータ1、スキャナミラー2、ねじりバネ3から成るメカニカルスキャナを、系の共振周波数付近の交流信号で駆動すると共に、スキャナミラー2の振幅を一定に制御する共振型スキャナにおいて、検出部6a,6bはそれぞれスキャナミラー2の振動位置を独自に検出し、振動検出部7は各検出部6a,6bの検出出力の差に相当する信号に基づいてスキャナミラー2の振幅に対応する検出信号Dを形成する。これにより、周囲温度等の変動により各検出部6a,6bに同一に現れる変動分はキャンセルされ、スキャナミラーの振幅は高安定に制御される。好ましくは、検出部6a,6bは温度に対する特性変化が略同一で、かつ相互に接近して設けられる。
請求項（抜粋）：
アクチュエータ(1)と、スキャナミラー(2)と、ねじりバネ(3)と、これらの系の共振周波数付近の交流信号でアクチュエータ(1)を駆動するアクチュエータ駆動部(4)と、スキャナミラー(2)の振幅に対応する検出信号(D)と所定信号(R)とを比較することにより該振幅を一定に保つための誤差信号(E)をアクチュエータ駆動部(4)に帰還する誤差検出部(5)とを備える共振型スキャナにおいて、スキャナミラー(2)の振動位置を検出する複数の検出部(6a,6b)と、各検出部(6a,6b)の検出出力の差に相当する信号に基づいてスキャナミラー(2)の振幅に対応する検出信号(D)を形成する振動検出部(7)とを備えることを特徴とする共振型スキャナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 104
, H04N 1/04 104
, G01N 25/72
