特許

J-GLOBAL ID：200903011057891650

気化器

発明者： 川尾 満志
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-289011
公開番号（公開出願番号）：特開2005-057193
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】 熱を効率的に液体材料微粒子に伝達する熱効率に優れる気化器を提供すること。【解決手段】 気化器1は、液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料Mを高温に保持された気化チャンバ30内の気化面S1に向けて噴霧し、噴霧された液体材料微粒子Mを気化し、気化により生成した材料ガスVをCVD成膜装置に供給する。気化面S1は、ステンレス鋼よりも熱伝導率の高い材料で形成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を高温に保持された気化チャンバ内の気化面に向けて噴霧し、噴霧された前記液体材料の微粒子を気化し、気化により生成した材料ガスをCVD成膜装置に供給する気化器において、 前記気化面は、ステンレス鋼よりも熱伝導率の高い材料で形成されていることを特徴とする気化器。

IPC (4件)：

H01L21/31 ,  C23C16/18 ,  C23C16/448 ,  H01L21/285

FI (4件)：

H01L21/31 B ,  C23C16/18 ,  C23C16/448 ,  H01L21/285 C

Fターム (15件)：

4K030AA11 ,  4K030EA01 ,  4K030KA22 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104DD43 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045EE02 ,  5F045EF02 ,  5F045EJ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 気化器および気化器の気化性能評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-292759   出願人：株式会社島津製作所, 三菱電機株式会社