特許
J-GLOBAL ID：200903011066359465
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-363967
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198134
出願日： 2002年12月16日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】スクイズ効果を抑制し、カンチレバーのQ値を高くする。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーは、一端121が基部110に固定されている可撓性の可撓梁120と、可撓梁120の他端122の側に設けられている探針130と、探針130と可撓梁120の他端122の側とを含む領域に形成されている貫通孔140とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基部と、
一端が基部に固定されている可撓性の可撓梁と、
可撓梁の他端側に設けられている探針と、
探針と可撓梁の他端側とを含む領域に形成されている貫通孔と、
を備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/16 C
, G12B1/00 601D
