特許
J-GLOBAL ID：200903011067311377
ウェハー搬送ロボット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-300363
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124995
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 オリフラ合せ機構を備えるウェハー搬送ロボットであり、ウェハー搬送ロボットの本来有する機構および制御系を利用して当該オリフラ合せ機構を簡素にかつ低コストに構成し、オリフラ合せ動作のため広いスペースを必要としない構成とする。【構成】 先部にウェハーチャック5を有する多関節アーム2,3,4と、各アームに伸縮、回転、昇降の各動作を行わせる駆動機構と、この駆動機構に制御指令を与えアームの前記各動作を制御するコントローラ10を備え、さらに、ウェハーのセット箇所14を有しこのセット箇所にセンサユニット(16,17)を配設したセンサユニット取付け部13と、アームに取り付けられ、駆動機構によって回転動作するウェハーテーブル9とを付加する。付加構成と本来有するロボット構成を利用して、ウェハー19をウェハーテーブル9で回転させ、センサユニットを用いてウェハーのオリフラ合せを行うように構成される。
請求項（抜粋）：
先部にウェハーチャックを有する多関節アームと、このアームに伸縮、回転、昇降の各動作を行わせる駆動機構と、この駆動機構に制御指令を与え前記アームの各動作を制御する制御手段とを備え、前記ウェハーチャックでウェハーをつかみ、前記アームの各動作に基づき前記ウェハーを移動するウェハー搬送ロボットにおいて、ウェハーのセット箇所を有し、このセット箇所にセンサユニットを配設したセンサユニット取付け部と、前記アームに取り付けられ、前記駆動機構によって回転動作するウェハーテーブルとを備え、前記センサユニット取付け部に配置された前記ウェハーを前記ウェハーテーブルで回転する構成とし、前記制御手段は、前記センサユニットを用いて前記ウェハーのオリフラ合せを行うオリフラ合せ手段を有することを特徴とするウェハー搬送ロボット。
IPC (2件)：
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