特許
J-GLOBAL ID:200903011076283220

マイクロアレイカーボン電極及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-178633
公開番号(公開出願番号):特開平8-043344
出願日: 1994年07月29日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】 微小で高感度なマイクロアレイカーボン電極及びその製造方法を提供する。【構成】 基板上の所望の位置に形成された複数の柱状単結晶(A)と該柱状単結晶を被覆し、かつ、基板上に形成された配線パターンに電気的に結合した導電性カーボン膜(B)とから構成される電極を有することを特徴とするマイクロアレイカーボン電極及びその製造方法。
請求項(抜粋):
基板上の所望の位置に形成された複数の柱状単結晶(A)と該柱状単結晶を被覆し、かつ、基板上に形成された配線パターンに電気的に結合した導電性カーボン膜(B)とから構成される電極を有することを特徴とするマイクロアレイカーボン電極。

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