特許
J-GLOBAL ID：200903011079897458

距離調整用非接触支持台

発明者：
ヤッソアー,ユヴァル

ヤッソアー,ユヴァル について

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ハーニク,アリー

ハーニク,アリー について

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リッチマン,ヒレル

リッチマン,ヒレル について


出願人/特許権者：
コアフロー サイエンティフィック ソリューションズ リミテッド

コアフロー サイエンティフィック ソリューションズ リミテッド について


代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-507928
公開番号（公開出願番号）：特表2007-533153
出願日： 2005年04月13日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体クッション上の実質的に平坦な静止か移動対象物を物理的接触なしに支える装置で、この対象物は流体クッションギャップで浮動し、この装置はギャップを全域か局所で調整すること目的にし、この装置が 非接触で対象物を支える第一土台からなり、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの内の少なくとも一つと流体的に連結する装置で、 流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  F16C 32/06 ,  H01L 21/683
FI (5件)：
H01L21/68 K ,  F16C32/06 A ,  F16C32/06 C ,  H01L21/68 G ,  H01L21/68 P
Fターム (22件)：
3J102AA02 ,  3J102BA14 ,  3J102CA10 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA15 ,  3J102EB02 ,  3J102EB03 ,  3J102EB07 ,  5F031CA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA02 ,  5F031JA09 ,  5F031JA10 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031JA47 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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