特許

J-GLOBAL ID：200903011081735279

有機化合物用の蒸着源、及び蒸着装置有機薄膜製造方法

発明者： 根岸 敏夫 ,  越田 達彦
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313952
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】発光層等の有機薄膜中に、発色剤等の微量な有機化合物を均一に分散させることができる技術を提供する。【解決手段】この蒸着源3は、リング形状の第1の容器本体50と、第1の容器本体50とは離間され、その中央位置に配置された第2の容器本体60とを有している。第1、第2の容器本体には、有機蒸着材料を収容できる有底の第1、第2の孔が複数個それぞれ設けられている。第1の容器本体50に発光剤を配置し、第2の容器本体60に発色剤を配置すると、多量の発光剤の蒸気中に、微量の発色剤の蒸気が均一に混合され、ガラス基板表面に均一な発光層を形成することができる。

請求項（抜粋）：

リング形状の第1の容器本体と、前記第1の容器本体とは離間し、その中央位置に配置された第2の容器本体とを有し、前記第1、第2の容器本体には、有機蒸着材料を収容できる有底の第1、第2の孔が複数個それぞれ設けられたことを特徴とする蒸着源。

IPC (5件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/58 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (5件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 A ,  C23C 14/58 C ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB00 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029DA00 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029GA01