特許
J-GLOBAL ID:200903011083739905

プラズマ装置およびその制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 服部 雅紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-078130
公開番号(公開出願番号):特開2003-275541
出願日: 2002年03月20日
公開日(公表日): 2003年09月30日
要約:
【要約】【課題】 プラズマ電極における電圧降下を低減し、気体浄化効果を維持するプラズマ装置を提供する。【解決手段】 プラズマ装置10の流路部材12内に、網状に形成された電極21、22、23、31、32、33、41、42、43、44、45、46が排気ガスの流れ方向に沿って平行に設置されている。電極21、22、23および電極31、32、33は陽電極であり、電極41、42、43、44、45、46は陰電極である。陽電極21、22、23は陽電極群20を構成し、陽電極31、32、33は陽電極群30を構成している。電極41、42、43、44、45、46は陰電極群40を構成している。陰電極群40は金属部である排気管やエンジンと接続され接地されている。陽電極群20と陰電極群40とが構成する電極群と、陽電極群30と陰電極群40とが構成する電極群にはそれぞれ異なるタイミングおよび頻度で高電圧パルスが印加される。
請求項(抜粋):
放電プラズマにより気体を浄化するプラズマ装置であって、気体が流れる流路を形成する流路部材と、前記流路に設置され、電気的に並列に接続された複数の電極群を有し、放電プラズマを発生するプラズマ電極と、前記プラズマ電極に印加する高電圧パルスを生成するパルス生成回路と、前記各電極群毎に設置され、前記パルス生成回路と各電極群との電気的接続を断続するパルス生成スイッチと、を備えることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (6件):
B01D 53/60 ,  B01D 53/32 ,  B01D 53/74 ,  B01J 19/08 ,  F01N 3/08 ,  H05H 1/24
FI (5件):
B01D 53/32 ,  B01J 19/08 E ,  F01N 3/08 C ,  H05H 1/24 ,  B01D 53/34 132 A
Fターム (22件):
3G091AA02 ,  3G091AB04 ,  3G091AB14 ,  3G091BA01 ,  3G091BA14 ,  3G091BA20 ,  3G091BA39 ,  3G091HA07 ,  4D002AA02 ,  4D002AA12 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4D002GA03 ,  4D002GB20 ,  4D002HA01 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075AA62 ,  4G075BA05 ,  4G075BD12 ,  4G075CA47 ,  4G075DA03

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