特許
J-GLOBAL ID:200903011083976451

共焦点光学系

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-297161
公開番号(公開出願番号):特開平5-134186
出願日: 1991年11月13日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】【目的】 オプティカルスライスを高精度で行うことが出来ると共に、オプティカルスライスに伴う収差の増大が無いようにした共焦点光学系である。【構成】 光を試料9に集光する対物レンズ8と、光源からの光を対物レンズへ導き試料からの光を光電検出素子11へ導く分離光学素子2との間に、分離光学素子2側に第1のレンズ群3とその焦点位置にある絞り4と、対物レンズ8側に第2の凹凸レンズ51、52群からなる光束径変換光学素子5とを設け、凸凹レンズ群51、52を光軸方向に移動させることと同時に、凹凸レンズ群の各レンズ51、52の間隔を変化させる手段を有する共焦点光学系である。
請求項(抜粋):
光源からの光を試料に集光する対物レンズと、光源からの光を対物レンズへ導き試料からの光を光電検出素子へ導く分離光学素子との間にあって、前記分離光学素子側に第1のレンズ群と該レンズ群の焦点位置に設定された絞りとを設け、該対物レンズ側に第2のレンズ群を設け、該第2のレンズ群を構成する各レンズの間隔および第2のレンズ群と第1のレンズ群との間隔を変化させる手段を有することを特徴とする共焦点光学系。

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