特許
J-GLOBAL ID：200903011089398433
内部応力センサ、および成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043196
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239173
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 温度補償機能が不要な、構造が簡単、かつ省スペース化に有利で、堆積した薄膜を除去することが可能な内部応力センサ、および同内部応力センサを有する成膜装置を提供する。【解決手段】 内部応力センサ10は、バイモルフ1と、中央面電極2と、上下面電極3と、電位検知器11と、電位供給源12とからなる。圧電材料であるバイモルフ1は、一端を壁部に固定した片持ち梁形状になっている。さらにバイモルフ1は、上下どちらの部材も同じ寸法、材質を有する。中央面電極2は、バイモルフ1の中央面に配置されている。上下面電極3は、バイモルフ1の上下面に配置されている。上下面電極3は、上下どちらの電極も同じ寸法、材質を有する。電位検知器11は、中央面電極2に結線され、中央面電極2の電位を検知し得る。電位供給源12は、上下面電極3に結線され、上下面電極3には常に一定の電位が印加される。
請求項（抜粋）：
温度補償機能が不要な、薄膜の内部応力を測定することができる内部応力センサにおいて、中央面及び上下面に電位を印加することが可能な電極を有する、片持ち梁形状に固定されたバイモルフであって、該バイモルフの厚み方向に分極処理がされており、分極方向は2枚とも同方向であり、さらにバイモルフの厚み方向の中央面に対して上下対称な寸法,材質を有し、前記中央面電極は電位を測定することが可能な手段と電気的に接続されており、前記上下面電極が、一定の電位差を保持することが可能な手段と電気的に接続され、内部応力を有する薄膜を前記バイモルフの片面に付着させた時、内部応力によりバイモルフに発生した撓み量を、電位差を測定することが可能な手段により中央面電極での電位差として検知し、この電位差により薄膜の内部応力を測定することを特徴とする内部応力センサ。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01L 1/16
, H01L 41/09
G01L 1/00 A
, G01L 1/16
, H01L 41/08 M
