特許

J-GLOBAL ID：200903011092329027

外観検査装置

発明者： 西口 昌男 ,  武政 和夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-112965
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304721
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 検査対象物の状態を短時間で的確に検査することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】 4つのCCDカメラ6a,6b,6c,6dとそれぞれに対応する第1,第2ミラー7a,7bにより、検査対象物となるチップ部品8の斜視像を4方向から撮像し、その撮像した各々の斜視像を画面分割器11を通してモニタ12の画面上に分割して表示する構成を採用した。

請求項（抜粋）：

検査対象物の斜視像をそれぞれ異なる方向から撮像する複数の撮像手段と、前記複数の撮像手段によって撮像された各々の斜視像を表示する表示手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  H05K 13/08

FI (3件)：

G01N 21/88 F ,  G01B 11/24 K ,  H05K 13/08 U