特許
J-GLOBAL ID：200903011096365192
ペリクルマウンタおよびペリクルのフォトマスクへの装着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-381840
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186179
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】ペリクルとマスクを接着する場合にペリクル板とマスクとの平行度を保持するのに適したペリクルマウンタを得る。【解決手段】加圧部19と、加圧部19からの圧力をペリクル11に伝達可能な圧力伝達部材17とを備え、圧力伝達部材17は、ペリクル11に当接可能なペリクル側圧力伝達面17aを備えるとともに、ペリクル側圧力伝達面17aの全域に亘る平坦度が5μm以下であることを特徴とする。特に、圧力伝達部材17は、さらに加圧部19からの圧力を圧力伝達部材17内に伝える加圧部側圧力伝達面17bを備え、ペリクル側圧力伝達面17aと加圧部側圧力伝達面17bとの平行度が10μm以下であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
ペリクルをフォトマスクに向けて押圧して、装着するためのペリクルマウンタであって、加圧部と、加圧部からの圧力をペリクルに伝達可能な圧力伝達部材とを備え、圧力伝達部材は、ペリクルに当接可能なペリクル側圧力伝達面を備えるとともに、ペリクル側圧力伝達面の全域に亘る平坦度が5μm以下であることを特徴とするペリクルマウンタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
