特許

J-GLOBAL ID：200903011099679449

静電吸着装置

発明者： 大見 忠弘 ,  渡辺 仁三
出願人/特許権者： 大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230939
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047910
出願日： 1991年08月19日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、確実かつ安全な吸着・離脱を可能ならしめ、動作が迅速であり、かつ簡単な構造によって高性能半導体製造装置にも適用可能な静電吸着装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明の静電吸着装置は、吸着電極及び被吸着物の雰囲気に導入されるガスに紫外線を照射する照射部とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電極上に絶縁物を介して被吸着物を置き、前記電極と被吸着物との間に電圧を印加して静電吸着を行う静電吸着装置において、前記電極及び被吸着物の配設空間の雰囲気に導入されるガスに紫外線を照射するための照射部を具備したことを特徴をする静電吸着装置。