特許
J-GLOBAL ID：200903011099704354
デバイス切れ予防装置付オートハンドラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-251171
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104324
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】作業停止時間や待ち時間をなくし、あるいは短縮し、好ましくは検査員の能力に応じて停止時間や待ち時間をなくしあるいは短縮することができ、稼働率向上が図れるデバイス切れ予防装置付オートハンドラを得る。【構成】搬送ライン(23)上のデバイス待機場所から測定部(20)へ被測定デバイス(16)を搬送し、所定の測定を行うオートハンドラ(10)において、測定部(20)の上流側の搬送ライン(23)近傍の所定位置に、搬送ライン(23)に沿って移動可能に設けられたデバイス検出装置(32)、同デバイス検出装置(32)の出力を受けアラームを発する警報装置(36)を設ける。
請求項（抜粋）：
デバイス待機場所から測定部へデバイスを搬送して、所定測定を行うオートハンドラにおいて、前記測定部の上流側の搬送ライン近傍の所定位置に、同搬送ラインに沿って移動可能に設けられたデバイス検出装置と、同デバイス検出装置の出力を受けアラームを発する警報装置を備えることを特徴とするデバイス切れ防止装置付オートハンドラ。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, B65G 47/68
, G01R 31/26
, H01L 21/68
